Em um MEV típico, os [[elétron]]s são emitidosenitidos termionicamente a partir de um [[cátodo]] (filamento) de [[tungstênio]] ou hexaboreto de lantânio (LaB<sub>6</sub>) e acelerados através de um [[ânodo]], sendo também possível obter elétrons por efeito de emissão de campo. O tungstênio é tipicamente usado por ser o metal com mais alto [[ponto de fusão]] e mais baixa pressão de vapor, permitindo que seja aquecido para a emissão de elétrons. O feixe de elétrons, o qual normalmente têm uma [[energia]] que vai desde as algumas centenas de [[elétron-volt|eV]] até 100keV, é focalizado por uma ou duas [[lente]]s condensadoras, em um feixe com um ponto focal muito fino, com tamanho variando de 0,4 a 0,5 [[nanômetro|nm]]. Este feixe passa através de pares de bobinas de varredura e pares de placas de deflexão na coluna do microscópio.
Tipicamente as [[Objetiva (óptica)|lentes objetivas]], as quais defletem o feixe horizontal e verticalmente para que ele varra uma área retangular da superfície da amostra.
